Buxarlanma kimi adlandırılan vakuum buxarlanma örtüyü, vakuum şəraitində müəyyən bir qızdırma və buxarlanma üsulundan istifadə etməklə örtük materialının (və ya film materialının) buxarlanması və buxarlanması prosesinə aiddir və hissəciklər kondensasiya üçün substratın səthinə uçur və film yaradır. Buxarlanma sadə plyonka əmələ gətirmə üsulu, yüksək plyonka təmizliyi və yığcamlığı, unikal plyonka quruluşu və performansı kimi üstünlüklərə malik olan daha erkən və geniş istifadə olunan buxar çökdürmə texnologiyasıdır. Vakuumda buxarlanmada istifadə olunan materiallara buxarlanma materialları deyilir.
Çökmə materialı buxarlanır və ya qaz hissəciklərinə sublimasiya olunur → qaz hissəcikləri buxarlanma mənbəyindən substrat səthinə sürətlə daşınır → qaz hissəcikləri substratın səthinə yapışaraq nüvələşir və bərk filmə çevrilir → film atomlarının yenidən qurulması və ya kimyəvi birləşmə baş verir.
Substratı vakuum kamerasına qoyun, film materialını buxarlandırmaq və ya sublimasiya etmək üçün müqavimət, elektron şüa, lazer və s. vasitəsilə film materialını qızdırın və müəyyən enerji ilə hissəciklərə (atomlara, molekullara və ya atom qruplarına) qazlaşdırın ( 0.1-0.3eV).
Qaz hissəcikləri toqquşmadan xətti hərəkətlə sürətlə substrata daşınır. Substratın səthinə çatan hissəciklərin bir hissəsi əks olunur, digər hissəsi isə substratda adsorbsiya olunur və səthə yayılır. Çoxluqlar əmələ gətirmək üçün yığılmış atomlar arasında iki ölçülü toqquşmalar baş verir. Buxarlanmadan əvvəl səthdə qısa müddət qala bilər.
Hissəcik çoxluqları daim yayılan hissəciklərlə toqquşur və ya tək hissəcikləri udur və ya tək hissəciklər buraxır.
Bu proses təkrarlanır. Aqreqasiya olunmuş hissəciklərin sayı müəyyən kritik dəyəri aşdıqda, o, sabit nüvəyə çevrilir və sonra tədricən böyümək üçün hissəcikləri udmaq və yaymaqda davam edir. Nəhayət, bitişik sabit nüvələrin təması və birləşməsi nəticəsində davamlı bir film meydana gəlir.
Müqavimətli buxarlanma prinsipi: Buxarlanma temperaturu 1000-2000 ° C olan materiallar buxarlanma mənbəyi kimi müqavimətlə qızdırıla bilər. Qızdırıcı müqavimət enerjisi verildikdən sonra istilik yaradır və yaranan istilik buxarlanma materialının molekullarını və ya atomlarını buxarlanmaq üçün kifayət qədər kinetik enerji əldə edir.
1. Buxarlanma mənbəyi ümumiyyətlə filamentvarıdır (0.05-0.13 sm), istifadəsi asan, ucuz istehlak materialları və dəyişdirilməsi asandır.
2. Buxarlanan material isitmə telini islatmalı və səthi gərginliklə dəstəklənməlidir. Yalnız metal və ya ərinti buxarlana bilər və istilik teli asanlıqla kövrək olur.
3. Ümumi istifadə olunan buxarlanma mənbəyi materialları bunlardır: W, Mo, Ta, yüksək temperatura davamlı metal oksidi, keramika və ya qrafit pota.
Elektrik rentasının buxarlanmasının mənfi cəhətləri: dəstək materialı ilə buxarlandırıcı arasında reaksiya ola bilər; ümumi iş temperaturu 1500 ~ 1900 ℃, daha yüksək buxarlanma temperaturuna nail olmaq çətindir, buna görə də buxarlanan materiallar məhduddur; buxarlanma dərəcəsi aşağıdır; istilik dərəcəsi yüksək deyil, Buxarlanma zamanı buxarlanacaq material bir ərinti və ya birləşmədirsə, parçalana və ya fərqli buxarlanma dərəcəsinə malik ola bilər, bu da filmin tərkibinin buxarlanan materialın tərkibindən kənara çıxmasına səbəb ola bilər. Yüksək temperaturda tantal və qızıl ərintilər, alüminium, dəmir, nikel, kobalt və s. volfram, molibden, tantal və s. ilə ərintilər əmələ gətirir, volfram, molibden isə su və ya oksigenlə reaksiyaya girərək uçucu oksid qazları əmələ gətirir.
Elektron şüası 5-10KV-lik elektrik sahəsindən keçdikdən sonra sürətləndirilir və sonra buxarlanacaq materialın səthinə fokuslanır və enerji ərimək və buxarlanmaq üçün buxarlanacaq materiala ötürülür.
1. Odadavamlı maddələrin buxarlanması həyata keçirilə bilər və ərintilərin ayrılmasının qarşısını almaq üçün böyük bir güc sıxlığı ilə sürətli buxarlanma həyata keçirilə bilər.
2. Eyni zamanda bir neçə tige yerləşdirilə bilər və müxtəlif müxtəlif maddələr eyni vaxtda və ya ayrı-ayrılıqda buxarlana bilər;
3. Çirklənmədən azaddır. Əksər elektron şüa buxarlanma sistemləri maqnit fokuslama və ya maqnit əyilmə elektron şüalarından istifadə edir. Buxarlanan material su ilə soyudulmuş tigeyə yerləşdirilir və buxarlanacaq material (su ilə soyudulan tigel) ilə təmasda olan material bərk qalır və materialın səthində buxarlanır.
Pota və buxarlanma materialı arasındakı reaksiyanı effektiv şəkildə maneə törədir, buxarlanma materialı ilə pota arasında reaksiya ehtimalı çox azdır, yüksək təmizlikli nazik filmlərin hazırlanması üçün uyğundur və optika sahələrində nazik film materialları hazırlaya bilər. , elektronika və optoelektronika, məsələn, Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si və s.; buxarlanmış molekulyar kinetik enerji daha böyükdür və müqavimətli istilikdən daha möhkəm və daha sıx bir film əldə edilə bilər.
Elektron şüası ilə buxarlanmanın çatışmazlıqları: Buxarlanmış qazı və qalıq qazı ionlaşdıra bilər ki, bu da bəzən film təbəqəsinin keyfiyyətinə təsir göstərir; elektron şüa buxarlandırma qurğusunun strukturu mürəkkəb və bahalıdır; yaranan rentgen şüalarının insan orqanizminə müəyyən ziyanı var.
Lazer buxarlanma prinsipi: Lazer istilik mənbəyi kimi istifadə olunur və yüksək enerjili lazer şüası vakuum kamerasının pəncərəsindən buxarlanan materialı sublimasiya nöqtəsinə qədər qızdırmaq, onu qaza çevirmək və onu bir yerə qoymaq üçün keçir. film.
1. təmassız istilikdən istifadə edin, çirklənməni azaldın, ultra-vakuum altında təmiz filmlər hazırlamaq üçün uyğun olan vakuum kamerasını sadələşdirin;
2. İstilik mənbəyi təmizdir, istilik orqanından çirklənmədən;
3. Fokuslanma yüksək güc əldə edə bilər və keramika və mürəkkəb tərkibli materiallar (ani buxarlanma) kimi yüksək ərimə nöqtəsi materialları yerləşdirə bilər;
4. Şüa cəmlənmişdir, lazer cihazı uzaq məsafədə yerləşdirilə bilər və bəzi xüsusi material filmləri (məsələn, yüksək radioaktiv materiallar) təhlükəsiz şəkildə yerləşdirilə bilər;
5. Yüksək buxarlanma dərəcəsi, film yüksək yapışma qabiliyyətinə malikdir.
Lazerin buxarlanmasının mənfi cəhətləri: filmin qalınlığına nəzarət etmək çətindir; həddindən artıq istiləşmə ilə parçalanmaya və birləşmələrin püskürməsinə səbəb ola bilər; lazer buxarlandırma avadanlığının qiyməti nisbətən yüksəkdir.
Ciddi Keyfiyyətə Nəzarət: Tam sınaq avadanlığı və sistemi.
Tam Kateqoriya: Bütün metal elementləri əhatə edir.
Fərqli formalar: Qranullar, Tozlar, Lopalar, Çubuqlar, Plitələr və Üzüklər və s.
Fərqli Saflıq: 2N7-6N5-dən, 99.7%-99.9999% Saflıqdan, Hətta daha yüksəkdir.
Müştəri elektron poçtla RFQ göndərir
- material
- Saflıq
- Ölçü
- Kəmiyyət
- Rəsm
E-poçt vasitəsilə 24 saat ərzində cavab verin
- Qiymət
- Çatdırılma dəyəri
- Göndərmə vaxtı
Detalları təsdiqləyin
- Ödəmə şərtləri
- Ticarət şərtləri
- Qablaşdırma detalları
- Çatdırılma vaxtı
Sənədlərdən birini təsdiqləyin
- Alış sifarişi
- Proforma faktura
- Rəsmi sitat
Ödəmənin şərtləri
- T/T
- PayPal
- AliPay
- Kredit kartı
İstehsal planını buraxın
Detalları təsdiqləyin
Ticarət fakturası
Qablaşdırma siyahısı
Şəkillərin qablaşdırılması
Keyfiyyət Sertifikatı
Nəqliyyat Yolu
Ekspres ilə: DHL, FedEx, TNT, UPS
Hava ilə
dəniz
Müştərilər gömrük rəsmiləşdirilməsini həyata keçirir və paketi alırlar
Növbəti əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyirik
EN 
AR
BG
HR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
HI
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
LT
SR
SK
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
MS
GA
CY
BE
KA
BN
BS
MN
NE
MY
TG
UZ
LB